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» 等离子体化学镀膜技术在粉末冶金行业的应用
等离子体化学镀膜技术在粉末冶金行业的应用
更新日期:2018-11-26 浏览次数:
2
摘 要:介绍了等离子体化学工艺,特别着重介绍了溅射镀膜与等离子体化学气相沉积在粉末冶金中的应用.
【题 名】
等离子体化学镀膜技术在粉末冶金行业的应用
【作 者】
汤青云 陈益平 徐玲 段冬平
【机 构】
湖南城市学院化学与环境工程系 湖南益阳413000 益阳市粉末冶金总厂 湖南益阳413000
【刊 名】
《湖南城市学院学报:自然科学版》2009年 第4期 48-51页 共4页
【关键词】
等离子体化学 溅射镀膜 化学气相沉积 粉末冶金
【文 摘】
介绍了等离子体化学工艺,特别着重介绍了溅射镀膜与等离子体化学气相沉积在粉末冶金中的应用.
本文导航:
(1)
等离子体化学,溅射镀膜,化学气相沉积,粉末冶金
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